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a-C:Hfilm相关论文
用椭偏法分析单波段及双波段兼容a—C:H增透膜
讨论了在单昌锗上为获得单波段(3-5μm)及双波段(3-5μm,8-12μm)兼容a-C:H增透膜所必需的膜系设计,及用椭偏法对该膜进行的增透结果分析。结果表明,a-C:H膜是理想......
期刊
椭偏法
单波段
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兼容
a-C:H增透膜
ellipsometry method
a-C:H film
design of film system.
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